Micro-Hybrid 單通道二氧化碳熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆單通道探測器,帶有用于氣體分析的窄帶濾光片。由于濾光片的參數,該檢測器非常適合測量二氧化硫(SO2)的濃度。檢測器芯片的輻射敏感熱電偶檢測光譜范圍,該光譜范圍對應于各個上游濾光片的透射范圍。
Micro-Hybrid 單通道溫度熱電堆探測器 基于MEMS技術的高靈敏度單通道熱電堆探測器,用于非接觸式溫度測量。
Micro-Hybrid 單通道高溫紅外熱電堆探測器 高靈敏度的單通道熱電堆檢測器,用于高溫范圍內的NDIR氣體分析。 它可以在高達190°C的環境溫度下進行測量。由于采用了焊接過濾器,檢測器對水分和其他環境影響不敏感。
Micro-Hybrid 四通道多氣熱電堆探測器基于MEMS技術的高靈敏度熱電堆四極桿探測器,帶有可單獨組合的濾光片,用于氣體分析。
Micro-Hybrid 黑色硅紅外輻射源TO39帶蓋 通過在MEMS加熱板發射器芯片上實現高度發展的微納米結構的硅金屬發射層,Micro-Hybrid可提供具有真實黑體輻射特性的紅外源。強大的紅外發射器MEMS芯片由高達850°C的加熱板溫度與近1倍的光譜寬帶發射系數共同定義。這樣可以在很寬的紅外波長范圍內實現較高的輻射強度。除了高紅外輸出強度外,我們成功開發的重點還在于長期穩定性。
Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的IR輻射源。MEMS紅外發射器的膜基于C-MOSI®技術,膜溫度高達800°C。它可以長期穩定地輸出輻射。發射器所需的低輸入功率還支持獨立和手持式應用。我們的紅外發射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成,該膜包含高溫穩定的金屬CMOSI層。
Micro-Hybrid 紅外輻射源帶蓋濾光片A1 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的紅外輻射源。 MEMS紅外發射器的高性能薄膜由納米非晶碳組成,其薄膜溫度高達850°C。它可以實現長期穩定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優化從UV到5.5 µm波長范圍內的發射。帶蓋的包裝形式適用于測量Max.2 cm的截面。
Micro-Hybrid 紅外輻射源TO39SiARC濾光片 用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應用的紅外輻射源。 MEMS紅外發射器的高性能膜由納米非晶碳組成,其膜溫度高達850°C。它可以實現長期穩定的高輻射輸出。填充氣體和濾光片的組合可優化從UV到12 µm波長范圍內的發射。 包裝形式的反射器適用于測量2 cm以上的截面。
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